中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315093 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9315093
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
System, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは半導体製造向けのフォトレジスト機器です。フォトレジストは、ウェーハ上に回路パターンを作成するために使用される光感受性材料の一種です。TEL Lithiusシステムはクローズドループと半自動です。つまり、オペレータが特定のパターンを指定でき、ユニットが自動的に作成します。集積回路(IC)チップを高分解能かつ高速に量産するために設計されています。東京エレクトロンリチウスマシンは、銅やポリイミドなどの原料を取り込み、フォトリソグラフィックプロセスを適用して複雑なパターンをウェーハ上に作成します。ウエハーの表面に広がったフォトレジストの層を露出するために、アクチニックライトが使用されます。その後、ツールはウェーハを開発してエッチングし、表面にパターンを作成します。次世代IC設計の登場により、Lithiusはより高い速度と精度を提供するように設計されています。また、高度なアルゴリズムを使用してパターン精度を向上させます。これにより、最終製品では優れた物理的および電気的性能が得られます。アセットは、パターンの複数の層を作成することができ、そのプロセスで使用することができる材料の広い範囲を持っています。このモデルは、相互接続層の設計を最適化することもでき、高度な回路設計に使用することができます。さらに、エッチングパターンの適切な印刷を保証するためにラインの幅を変えることができる高度なエッチレシピ最適化をサポートしています。ICチップの製造に加え、ディスプレイ、太陽電池、センサーなど幅広い用途に対応しています。それはまたラミネーション、型抜き、およびコイル巻上げのような他の工程に使用することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、高品質な出力を高速かつ優れた精度で生産できる信頼性と効率の高いフォトレジストユニットです。この機械は、生産性能を向上させ、コストを削減できるため、多くの企業に採用されています。
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