中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315052 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、今日の半導体メーカーの高精度の要求に応えるために設計された画期的なフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、低温の柔軟性と、他のフォトレジストシステムよりも寸法安定性が向上していることで知られています。TEL Lithiusユニットは、フォトマスクやその他のテンプレートへの露光に使用できる高解像度光源で構成されています。この光源は、高精度で歪みが少ないと同時に、ユーザーが迅速な露光を行うことができるように設計されています。フォトマスク露出は、フォトレジストに特定のサイズのラインパターンを形成するために使用され、ウェーハ表面上の様々な特徴をパターン化するために使用されます。次に、東京エレクトロンリチウスマシンを用いたリソグラフィの開発プロセスを開始します。これは、低温で動作するように設計された高精度の加工機を使用して行われます。これにより、ウェーハ表面に印刷する必要がある最も複雑な構造でも寸法安定性が向上します。このツールはまた、一部のプロセスを損なう可能性のある熱膨張と収縮を排除します。Lithiusアセットは、他のフォトレジストプロセスと比較しても優れた解像度を提供するように設計されています。これは、複雑な機能を印刷するために必要な低温で動作する場合でも、最大5マイクロメートル以下の同じ分解能を提供できるためです。これは、ユーザーが非常に高品質の画像を達成することができることを意味します。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusモデルには、職場照明からの負の干渉を低減する機能も搭載しています。これは、非常に鮮明な画像を得るために、ウエハ表面を直接照らしたり斜めに照らしたりする必要がある場合に役立ちます。全体として、TEL Lithius装置は画期的なフォトレジストシステムで、比類のない解像度、低温柔軟性、寸法安定性の向上など、さまざまな用途で高品質のマイクロプロセッサを作成するのに最適です。そのため半導体業界では絶えず人気を集めています。