中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9314371 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusなどのフォトレジスト機器は、半導体集積回路の製造に使用される基本的なリソグラフィーシステムです。リソグラフィープロセスでは、光エネルギーを使用して感光膜（フォトレジスト）に回路パターンを転送し、化学プロセスを介してシリコンウェーハの表面に転送します。このプロセスは、回路パターンの複数のレプリカを効果的に作成します。TEL Lithiusは、コンパクトでリニアな動きのために設計されたフォトリソグラフィーマシンです。半導体製造のための高精度、高速、費用対効果の高いソリューションを提供し、迅速なサイクルタイムでパターン転送を可能にします。このユニットは、高感度のプロジェクションアライナーカメラと自動ソフトウェアマシンを使用して、回路パターンがフォトレジストに正確に転送されるようにします。このツールには、正確なパターン露出設定のための統合された監視および制御アセットも装備されています。東京電機リチウスフォトリソグラフィーマシンは、精密なサブミクロン分解能が可能で、大量生産に適しています。高精度スキャナを使用して、広範囲の倍率で正確な露出制御を行い、高度な計測機器を使用して、露出されたアライメントエラーを迅速にフィードバックします。また、高速クォーツイメージングユニットを搭載し、高品質なフォトマスクパターンを実現する高度なデジタル画像処理を実現しています。Lithiusは、半導体製造のための信頼性と正確なソリューションを提供します。極めて正確な結果と高いスループットレートを最小限のコストで提供する高度にインテリジェントなマシンです。さらに、このツールはユーザーフレンドリーで自己診断が可能であり、複雑な半導体デバイスの製造において非常に貴重なツールとなっています。