中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9309643 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジスト装置は、ステップアンドリピートフォトレジストコーティング法を使用して基板を正確にパターン化する、堅牢で信頼性の高い光電子リソグラフィーツールです。基板ホルダーにシリコンウェーハなどの基板を配置してシステムを開始します。紫外線光源を使用して、基板をあらかじめ定義された露光パターンにさらします。この光源は、基板の各層の露出パターンを定義するレチクルのセットを使用してパターン化されます。光源は通常、365nmの波長に設定されます。基板が紫外線にさらされると、基板上にフォトレジスト層が広がります。フォトレジストは、基板の露出パターンに反応する量子ドットの層で基板を被覆します。フォトレジスト層が配置された後、酸エッチング処理によって量子ドット層が分解され、パターン化された基板が残されます。TEL Lithiusユニットは0。5ミクロンの分解能を作り出すことができ、1ミクロン以上の分解能で精密な処理を必要とする多くの用途に適しています。東京エレクトロンリチウスフォトレジストシステムは、マイクロエレクトロニクス、半導体加工、光メディア製造などの用途に最適です。フォトレジストシステムの標準機能に加えて、Lithiusシステムは自動化されたプログラム可能な機能も提供します。これらには、オートリピート露光機、プログラム可能なレジスト、露出窓の最適化、および膜厚モニタが含まれます。これらの機能により、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジストシステムは、市場の他のフォトレジストシステムよりも効率的で信頼性が高くなります。TEL Lithiusフォトレジストツールは、高精度、高解像度、再現性の高いパターニングを提供する強力で信頼性の高いツールです。プログラマブルレジストなどの機能を使用することで、マイクロエレクトロニクスなどの高精度アプリケーションに最適です。