中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9304426 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、ユニークなリソグラフィープロセスに統合された批判的に設計された化学部品からなるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体デバイスの量産に最適であり、その高度な機能により、正確な形状と高い忠実度でパターンを迅速に作成するための効果的なツールとなります。具体的には、TEL Lithiusは独自の感光性ポリマーユニットを使用して、パターニングに使用される媒体の理論的限界に近い解像度で高品質なパターンを生成します。このマシンは、正確にキャリブレーションされたマスク作成ツールと組み合わせて使用すると、ナノメートルスケールまで忠実に機能の絶妙なパターニングを可能にします。パターンの劣化や汚染を防ぐために、基板表面にさまざまなガスの種類を制御して届けることができる高度なガス供給アセットを採用しています。これは、基板全体にわたるパターン処理の均一性を維持するのに役立ちます。さらに、このモデルには、ユーザーが新しいマスクデザインを迅速かつ簡単に作成し、ニーズに合わせて新しいジオメトリを微調整できるソフトウェアスイートが付属しています。このソフトウェアスイートを使用すると、生成されたパターンの画像解析を実行することができ、幾何学的忠実度と均一性を簡単に確認できます。最後に、半導体ベンダーから期待される高品質と忠実度を維持しつつ、複雑なパターンの迅速かつ効率的な生産を可能にします。これにより、マイクロエレクトロニクス機器の大規模な生産に最適です。高度な機能と正確なジオメトリ機能により、高品質のマイクロエレクトロニクスデバイスを継続的に生産するために必要な自信と安心をユーザーに提供します。
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