中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296906 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体材料の製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体ウェーハにパターンをエッチングして、その表面に小さなフィーチャーやコンポーネントを作成するために使用されます。このユニットは、ウェーハ上に配置された選択済みパターンを含む「マスク」を採用しています。その後、ウエハは高強度の放射、通常は紫外線にさらされ、パターンがその表面に転送されます。パターンを転送するプロセスはリソグラフィと呼ばれ、TEL Lithiusはユニークな「電子ビームリソグラフィ」アプローチを採用しています。これには、試料上の一連の光電偏向板によって電子ビームが集中して偏向し、正確な量の放射線がウェーハに届くようにする必要があります。これにより、表面に原子が少なくなり、エッチング時間が短縮されます。超高精度エッチングが可能で、36×36mmの面積で0。012ミクロンという小型の機能を実現します。ビームは非常に高い精度でステアリングすることができるため、この高精度なプロセスにより、複雑なアーケート形状でも機能を作成することができます。フォトレジストレベルは、異なるサイズの特徴を得るために調整することができます。また調節可能はパターンのより多くの制御を可能にし、高解像度の結果を作り出すためにあらゆるフィルムの厚さを使用する騒音比率への信号です。このツールはまた、高解像度と均一な性能を提供するユニークな電極フィルタを備えています。TOKYO ELECTRON Lithiusの低メンテナンス設計により、信頼性が確保され、長時間の連続的な高品質な生産が可能です。それは短い露出時間を提供し、それを速い周期の生産にとって理想的にさせ、プロセスの高い制御は非常に細く、一貫したエッチングを保障します。Lithiusは高精度で信頼性が高く、精密エッチング半導体に最適な技術です。非常に高解像度で均一性を向上させ、集積回路などのナノテク機器の製造に最適なシステムの1つです。