中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296904 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、ナノテク製造に特化した先進的なフォトレジスト機器です。半導体ウェーハの細部を見極めることができ、製造プロセスを正確に制御することができます。このシステムは、フォトレジスト成膜のための低コストで高性能なソリューションと、ウェーハ上の最小の構造特性のイメージングを使用して動作します。TEL Lithiusユニットの主な構成要素は、最適な抵抗均一性を得るためにウェーハ表面の抵抗率を測定するウェーハモニターと、ウェーハ上にきれいで反復可能な画像を生成できるイメージジェネレータです。イメージジェネレータは、真空インターフェイスとイメージマスクの2つの主要な要素で構成されています。真空インターフェースは、ウェーハを適切な蒸着圧力に設定し、ウェーハ全体に均一な抵抗を与える責任があります。イメージマスクは、フォトレジストの成膜を制御するために金属薄膜でコーティングされ、回路基板のレイアウトを反映した正確なパターンを生成します。作動中、東京エレクトロンリチウスマシンは、ウェーハ上の望ましいパターンを明らかにするために、ウェーハを光源に公開します。その後、ウェーハに付着したフォトレジストを開発し、開発した画像の詳細を正確に検査することができます。検査の後、ウェハはリソグラフィーステーションに転送され、所望の回路基板レイアウトに沿って配置されます。最後に、ウェーハをエッチングして目的のコンポーネントを作成します。Lithiusは、ナノスケールのレベルで精密な製造を可能にする優れたフォトレジストツールを提供しています。ウェーハモニタとイメージジェネレータのコンポーネントは、パターニングプロセスを細心の注意を払って監視しながら、ウェーハが適切に調整されていることを保証し、最終結果の高品質と再現性の両方を保証します。そのため、ナノテクノロジーメーカーにとって、自動制御による効率的で正確なソリューションを求めている貴重な資産です。