中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296645 を販売中
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ID: 9296645
Coater / Developer system
Career station block
Process block
Coat process station
Develop process station
Plate process station
Interface block.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体マイクロサーキットの製造に使用されるフォトリソグラフィープロセスを可能にする高性能フォトレジスト装置です。基板上にフォトレジストをクリーンに成膜するように設計されており、望ましい回路設計の正確なパターニングとエッチングが可能です。また、化学溶剤洗浄風呂やイソプロピルアルコールブラシを使用して、プロセス中の汚染を最小限に抑えることができます。このユニットは、エキシマレーザー、基板ホルダー、フォトセンシティレジストコーティングマシン、シャドウマスクなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。エキシマレーザーは、シャドウマスク（回路設計を含む）を介して基板表面に送信される紫外光パルスを作成するために使用されます。光強度は、回路設計の正確な解像度を可能にするために調整可能です。基板ホルダーは、安定したレベルの基板表面を維持するために使用され、精密なコーティングが可能です。フォトレジストを基板上に均一に沈殿させるために、感光性のレジストコーティングツールを使用します。レジストは、紫外線にさらされたときに反応し、不溶解性になります。これにより、希望する回路機能のパターン化が可能になります。イソプロピルアルコールブラシは、過剰な不溶解性フォトレジストや汚染粒子を除去するために基板表面をスクラブするために使用されます。さらに清潔さを確保するために、アセットには化学溶剤リンスバスが装備されており、基板が次の生産段階に移行する前に最終的なリンスを提供します。これらのすべてのコンポーネントを組み合わせることで、TEL Lithiusは高解像度の微小回路を生成することができる有効なフォトレジストモデルとなります。これは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの生産において非常に貴重なツールです。
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