中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9290886 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、同社の実績ある技術に基づいたフォトレジスト機器です。このシステムは、イメージング部品を製造するための正確な薄膜マスタリングを実行するように設計されています。このユニットは、薄膜マスタリングユニット（TFMU）と高品質イメージング（HQI）ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。TFMUは、大型タンク、レーザーブラストステーション、発熱体、および周囲光を加えるための光源で構成されています。HQIユニットは、放射線硬化カメラ、放射線計算コンポーネント、画像データ生成コンポーネントで構成されています。薄膜マスタリングユニット（TFMU）は、フォトレジスト材料を含む水溶液で満たされたタンクで構成されています。フォトレジスト材料は、レーザービームを通して光にさらされたときに特定のパターンの薄い層を形成する能力を持っています。タンクの全体の表面積は、高輝度、パルスレーザービームによって照らされます。パルスレーザービームは、放射線耐性パターンの異なるパターンとサイズを作成するために使用されます。レーザー強度とパルス長はTFMUコントローラによって管理され、パターニングの精度を保証します。TFMUはまた、発熱体を使用して、パターニングサイクルごとにフォトレジスト材料の表面を回収します。HQIユニットは、TFMUによって作成されたパターンと画像をキャプチャして測定するカメラで構成されています。HQIユニットの目的は、フォトレジスト材料のさらなる処理とパターン化に使用される正確な画像データを提供することです。HQIユニットには、異なる放射線レベルを区別し、正確なデータを提供できる放射線計算コンポーネントも含まれています。さらに、HQIユニットには、パターンや画像をフォトレジスト材料に正確に転送するために必要なデータを提供する画像データ生成コンポーネントが含まれています。TEL Lithiusは、薄膜プロファイルを精密に製造するために使用される信頼性の高いフォトレジストマシンです。このツールには、ブラストステーション、加熱素子、カメラ、イメージデータ処理などのコンポーネントが含まれており、すべてが連携して画像コンポーネントの生産のための詳細なパターンを達成することができます。HQIユニットは、正確なデータを提供することで、画像データの操作とパターニングを可能にし、高品質のイメージングコンポーネントを生成します。フォトレジスト資産には、放射線計算コンポーネントも装備されており、異なる放射線量を正確に区別することができます。東京エレクトロンリチウスは、最先端の技術を駆使し、薄膜プロファイルの効率的で信頼性の高いモデルです。