中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9286669 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、コンピュータ支援設計のフォトマスクを作成するために使用されるフォトレジストシステムです。それはフォトリソグラフィのデジタル化された形態であり、光に敏感な材料に画像を転送するプロセスです。TEL独自のシステムにより、ポリゴンやダイパターンデータから高解像度のフォトマスクを高精度で再現可能な高性能を実現します。このプロセスは、ポリマーフォトレジストと対応するレイヤーマスクから始まります。フォトレジストは、望ましい表面に広がり、紫外線レーザーなどの高エネルギー光源からの光にさらされます。あらかじめ決められた時間の後、エネルギーはフォトレジストによって十分に吸収され、それに対応するファインリゾリューションのフォトレジストパターンを形成するフォトケミカル反応につながります。転送するパターンを含むマスクは、フォトレジスト塗装面に整列して登録されます。画像転送プロセスが開かれ、レーザーからの光がフォトレジストの露出部分を活性化します。特定の化学反応は、感光性溶媒の溶解領域を生成し、その後、パターンをマスクからフォトレジストに転送することができます。転送が完了すると、溶解した領域は限られた色で満たされ、フォトレジストに正確なパターンが形成されます。その後、感光層の成分を選択的に洗い流してパターンをきれいにします。必要な形状の画像を正しいサイズと形状にカットします。最後に、フォトマスクは完成し、集積回路、センサー要素、コネクタ、その他の要素の生産など、さまざまなアプリケーションで使用する準備ができています。TEL Lithiusはフォトマスクに画像を転送するための優れたシステムです。高解像度パターンと反復可能な高性能を作成する能力は、通常のフォトリソグラフィとは異なります。市場では高品質な製品が求められているため、あらゆるサイズの精密な画像転送も求められており、複雑なフォトマスクの製造に最適です。