中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9276842 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、デジタル印刷技術を駆使し、基板上に非常に正確なパターンを作成するフォトレジスト機器です。このシステムは、厳密な精度で50nmのサイズのパターンを作成するように設計されています。これらの機能により、優れた解像度でパターンを生成し、より小さく、より複雑な機能を作成できます。TEL Lithiusは、スピンオン成膜と呼ばれるプロセスを利用して、フォトレジストを基板に正確に供給します。この過程で、電気的に充電されたバレルは、精密なレジスト液を基板に分配し、それを回転させて均等に拡散させます。この精密な蒸着により、レジストの量が無駄になり、基板のすべての領域が均等にコーティングされます。東京エレクトロン・リチウスは、精密な紫外線（UV）イメージング技術を使用して、精密なパターンを作成します。UVレーザーを操作することで、ほぼすべての種類の基板をパターン化することができます。レーザーパターニングは、現代のリソグラフィの解像度を下回る特徴を可能にし、正確な実用的な制御で非常に正確なパターンを生成します。フォトレジストはレーザーパターンによって変更され、レーザーのパラメータと露出の長さに基づいて多かれ少なかれエッチングすることができます。設定を調整することで、従来のリソグラフィ技術よりもはるかに複雑な形状を作成することができます。さらに、Lithiusは既存のパターンを変更するために使用することができ、さらなる精度と詳細を可能にします。このツールはまた、ディスクやウェーハなどのパターン化されたメディアを生成することができ、ユーザーに生産を正確なニーズに合わせてカスタマイズするさまざまな機能を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、マイクロエレクトロニクスから医療用インプラント、自動車部品まで、幅広い分野で高い信頼性と精度を誇る資産です。ユーザーに卓越した精度で信頼性の高い精密パターンを提供し、複雑な部品や部品を簡単かつ迅速に作成できます。