中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275274 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、集積回路の製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、TELの高度なリソグラフィ技術に基づいており、高度な半導体デバイス向けの包括的なフォトレジストプロセスを提供しています。レジストの高速かつ高精度なエッチングを可能にするために設計されており、半導体デバイスに高解像度で優れた機能を提供します。このユニットは、高精度な裏面アライメントを提供することができ、オーバーレイエラーとタイトなオーバーレイコントロールを低減するための理想的な選択肢となります。機械は絶えず最適な結果のための抵抗の状態を監視し、調節できます。これは、より高い精度で希望のパターンを取得するのに役立ちます。このツールはまた、パターンの均一なエッチングを保証し、機能が正確にエッチングされるようにします。フォトレジストのアセットは、エッチング前にレジスト表面の準備を支援する高度な準備プロセスを持っています。表面の汚染を最小限に抑えながら、最高品質のエッチング処理を実現する静的除去装置を搭載しています。このモデルには、単一のウェハローディング装置が装備されているため、ローディング時間を短縮し、ウェハーを汚染レベルにさらすリスクを低減することができます。このシステムには、ウエハを保護する絶縁体として機能する誘電パネルと、一貫した温度を維持するための内蔵の加熱ユニットがあり、操作が容易です。このマシンは、グラフィカルユーザーインターフェイスとユーザーフレンドリーなコントロールで簡単に操作できます。また、オープンフィールドバスシステム上で動作する他のシステムとインタフェースするように設計されています。これにより、2つのシステム間でデータをシームレスに交換できます。このツールは信頼性が高く、安全で使いやすく、高度な半導体デバイスの製造に費用対効果の高いソリューションを提供します。この資産は、新製品の開発、設計エンジニアリング、または生産アプリケーションでの使用に最適です。