中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275250 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体・集積回路（I/C）製造プロセスにおいて様々な業界で使用される特殊フォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）とは、エッチングや堆積金属などの電子部品内の構造を選択的に開発するために使用される光感受性材料のことです。フォトレジストは、I/Cチップ上のさまざまなレイヤーと経路を作成するために使用されるリソグラフィープロセスの重要なステップです。TEL Lithiusフォトレジストシステムは、半導体デバイスの特徴を定義するために使用されるフォトマスクを使用しています。ユニットは、フォトレジストと呼ばれる光感受性材料のコーティングを適用することから始まります。フォトマスクはフォトレジストの上に置かれ、光はフォトマスクの定義された領域を露出するために使用されます。露出した領域はフォトレジストを硬化または固化させ、露出していない領域は溶解性のままです。光を取り除いた後、露出したフォトレジストを除去するために表面に開発者ソリューションを適用し、基板上のフォトマスクのパターンを明らかにします。東京電機リチウスフォトレジストマシンには、露出したパターンをエッチングし、追加の材料を堆積させるために使用できるウェット加工ツールが組み込まれています。ぬれたプロセスは下記のものを含んでいます：フォトレジストのストリップ、ペンキのストリップ、抵抗の灰、ぬれたエッチ、抵抗のストリップおよびエッチング、沈殿およびovercoat。このアセットは、I/Cチップ表面の材料の再現可能なエッチングと成膜を可能にする高レベルのプロセス制御を提供します。Lithiusフォトレジストモデルは、ウェット処理中に潜在的な欠陥を特定して取り除くことができるため、製造歩留まりも向上します。また、コンピュータ制御のイメージングを使用して、最適なエッチングと蒸着プロセスを決定します。これにより、製造工程に必要なサイクル数を最小限に抑え、貴重な時間とコストを節約できます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジストシステムは、I/C製造工程で使用される信頼性の高い効率的なユニットで、それぞれの層に材料を開発して堆積します。このマシンは、高レベルのプロセス制御、高い歩留まり、サイクル時間の短縮、欠陥の識別の改善を提供します。