中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275245 を販売中

TEL（東京エレクトロン）TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TEL/TOKYO ELECTRONが開発したフォトレジスト機器です。半導体およびディスプレイ機器の製造に使用され、超クリーンな環境で最適な生産性とパフォーマンスを実現するよう設計されています。このシステムは、高精度フォトリソグラフィープロセスに適した最新の光技術を利用しています。光学デバイスには、高画像分解能を可能にする複数のレンズとマイクロレンズが含まれており、フォトレジストは、リソグラフィ装置の紫外線（UV）光にさらされると非常に高いコントラストを持っています。この工具の高精度な電動ステージは、振動なしでウェーハを正確に動かすことができ、低k誘電面でも最適な露出精度を確保します。このアセットは、露光線量や均一性、スプレー距離、ピッチ、リソグラフィーパターニングなどのプロセスパラメータを正確に制御する機能を備えています。これにより、高品質の半導体デバイスを効率的に生産することができます。さらに、粒子状物質、湿度、温度を制御する自己完結型の環境をベースにしており、ユーザーにとっては清潔で理想的な環境を保っています。この機器は、さまざまなアプリケーションでパフォーマンスを最適化するように設計されたさまざまなアクセサリーとオプションを提供しています。レチクルやマスクを精密にパターニングするための微細加工ステーション、自動リソグラフィ操作用のステッパーおよびスキャナー部品、高速で一貫した製造用の自動デバイスハンドラなどがあります。さらに、ユーザーが複雑なシーケンスやカスタマイズされたレシピを開発できるオフラインプログラミング機能も搭載しており、素早く正確に再現できます。全体として、TEL Lithiusは半導体および表示装置の生産のための理想的な解決です。最新の光学技術、プロセスパラメータの正確な制御、環境制御機能を備えています。さらに、さまざまなアプリケーションのパフォーマンスを最適化するためのさまざまなアクセサリとオプションが含まれています。