中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274993 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、リソグラフィ工程専用のフォトレジスト機器です。半導体チップ製造やマスク加工など、様々な用途でマスクのパターン作成に使用できます。フォトレジスト材料は、半導体チップやマスクなどの基板やデバイスの表面にパターンを生成するために使用されます。TEL Lithiusシステムは、走査型電子ビーム露光ツール、マスクライティングユニット、フォトレジスト材料で構成されています。スキャン電子ビーム露出ツールは、電子ビームのパターンをマスクに描画してパターン化された表面を形成するために使用されます。マスクライティングマシンは、このパターンを処理して基板またはマスク上に画像を作成します。フォトレジスト材料を基板またはマスクに塗布し、パターンを基板またはマスクに移すことができます。TOKYO ELECTRON Lithiusツールの特徴の一つは、高解像度です。半導体チップやチップマスクなど多くの先端技術に欠かせない、サブミクロン分解能が可能で、サブミクロン範囲までの特徴サイズのパターンを生成することができます。また、半導体チップの製造やマスク加工に不可欠な高アスペクト比の構造（特長サイズに対する深度比）を構築することができます。Lithiusモデルは、3Dプリントやコンタクトリソグラフィなど、より高い解像度を必要とする他の技術をサポートすることもできます。また、エポキシフォトレジスト、ポリイミドフォトレジストなど、さまざまなフォトレジストの使用もサポートしています。これにより、さまざまな基板やマスクに使用することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusユニットは使いやすく使いやすい設計になっています。これにより、フォトリソグラフィの初心者、または技術の経験が限られている人にとって理想的です。全体的に、TEL Lithiusツールは、フォトリソグラフィとマスクライティングアプリケーションのための包括的なソリューションです。その高解像度と複数のフォトレジスト材料のサポートは、複雑なパターンや構造の製造を可能にします。アセットのユーザーフレンドリーなデザインは、経験豊富なユーザーと経験の浅いユーザーの両方に適しています。