中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274980 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、様々な用途において極めて高解像度の機能やパターンを生成するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。システムは、最先端のリソグラフィーユニットと高度なスピナー設計とともに、複雑な光学経路で構成されています。TEL Lithiusユニットは、非常に高解像度の機能を作成するために設計されました。これは、焦点レーザーと広い均一な電子ビームの両方を同時に使用して、従来のフォトレジストシステムよりも非常に高精度で高速なパターンをレンダリングすることによって行われます。TOKYO ELECTRON Lithiusマシンのユニークなビルドエレメントにより、ユーザーはプロジェクト単位でツールをカスタマイズし、最終製品が最高の精度であることを保証します。Lithiusアセットは、アスペクト比の高い機能に最適で、最大20ナノメートルの機能を生成できます。また、ナノピラー、ナノキャビティ、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）などの他の機能パターンもサポートできます。モデルは信頼性が高く安定しており、再現性とプロセス制御機能を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusの基板は、シリコンウェーハ、ガラス、ポリマー、アルミナ製品を取り扱っています。高速スキャナ、光学モジュール、高度な計算ツールなど、幅広い最先端のツールを使用して基板を迅速に公開します。このユニットには、プロセスサイクル時間に追いつくための高速垂直搬送が含まれています。さらに、このマシンは精密なプロジェクト管理ツールを備えており、ユーザーは基板処理、プログラムオートメーションをリモートで制御し、さまざまなツールの改善とプロセス制御プログラムを提供します。この高度なアセットは、フォトマスクのサイズを小さくすることで、従来のフォトレジストモデルよりも小さい機能を生成します。マスクのサイズは、機器に存在する高度な光学系のために削減することができます。高度なフォトレジストシステムとして、TEL Lithiusユニットは非常に高いアスペクト比と小さなフィーチャーサイズの複雑なナノファブリケーション構造に最適です。この機械は信頼性が高く、基板プロセスを優れた制御を提供するため、医療科学からエレクトロニクス、自動車産業まで幅広い用途に最適です。このツールには、市場で最も高度なフォトレジストシステムの1つになるさまざまな洗練された機能が含まれています。