中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9273942 を販売中
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ID: 9273942
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
System, 12"
EFEM
Blower module: PM1 and PM2
Air intake
Power rack
Light curtain
Accessory
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは複雑なパターンを複製するフォトレジスト装置です。このシステムは半導体製造のために設計されており、トランジスタ、ダイオード、抵抗などの半導体デバイスの部品を製造しています。ユニットはいくつかの異なるコンポーネントで構成されています。最も顕著なのは、フォトレジストは光感受性材料であり、基板に対してしばしばエッチング抵抗性が適用される。この材料は、特定の波長の光にのみ反応します。TEL Lithiusマシンでは、半導体レーザーを使用して基板に照射する光ビームを送ります。これにより、正確なパターン・レプリケーションと正確な機能実装が可能になります。TOKYO ELECTRON Lithiusツールは、他の様々なコンポーネントによってさらに拡張されています。最も重要なコンポーネントの1つは、光線が基板上のフォトレジストに直接照射されるようにするイメージアライナーです。この機能により、ミスアライメントエラーが排除され、レプリケーション処理中の精度が向上します。さらに、カプラーは、コンピュータからレーザーに送信するために必要な情報を取得します。Lithiusアセットには、精度を向上させ、最適なデバイス生産を保証するために設計されたさまざまな調整可能な設定も含まれています。これらの設定により、レーザーのパワー、スキャン速度、焦点距離を最適化し、高解像度の画像を得ることができます。さらに、精度を向上させるために、必要に応じて様々なフィルターやマスキング技術が利用可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusモデルは、各種コンポーネントに加え、操作者を必要とせずに機器を操作できる使いやすいグラフィカルユーザーインターフェースを搭載しています。GUIを使用すると、必要な機能とコマンドをプログラムして目的のテンプレートを作成し、必要なデータをレーザーに転送できます。例えば、ユーザーは使用するフォトレジストのタイプ、レーザー力、ビームの焦点距離、基板の正確なアドレスおよび他の必要な機能をプログラムできます。全体的に、TEL Lithiusシステムは、半導体デバイスとコンポーネントの正確かつ正確な生産のために設計されています。このユニットは、優れた性能を確保するために、レーザー光線操作や調整可能な設定などの高度な機能を提供しています。さらに、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスは、利便性と使いやすさを提供します。TOKYO ELECTRON Lithiusマシンは、半導体専門家にとって欠かせないツールです。
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