中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9260375 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイス製造用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、前処理のための1つのチャンバーと開発者のための2番目のチャンバーを備えた2チャンバーウェットベンチフォーマットを使用しています。プレトリートメントチャンバーは、p型またはn型ドーピングだけでなく、酸と塩基処理の組み合わせで基板を治療することができます。開発者の部屋にはフォトレジストソリューションが含まれており、ユーザーは正確な厚さとプロファイルで基板にフォトレジストレイヤーを適用することができます。フォトマスクはフォトレジスト層をパターン化するために使用され、マスクのプロファイルと光源の強度が適用されたフォトレジスト層の厚さとプロファイルを決定します。ユニットには、さまざまなソリューションの温度と流量、光源、基板、フォトマスクのパラメータを監視する機器コントローラが含まれています。これにより、プロセスの各ステップを正確に制御することができ、繰り返し可能で正確な結果を得ることができます。さらに、このマシンにはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も含まれており、ユーザーはアプリケーションのツールパラメータとレシピを表示および選択できます。さらに、アセットは、ユーザーが将来の使用のためにレシピとプロセスパラメータを保存することができます。これにより、特定のレシピまたはプロセスパラメータに変更を加える必要がある場合でも、一貫したプロセスが保証されます。このモデルはオートフォーカス機能も備えており、フォトレジストコーティング手順中に適切な焦点深度が達成されることを保証します。この機能は、不適切な焦点による表面画像の歪みを防ぎます。TEL Lithiusは、高精度で高品質な半導体デバイスの製造を可能にする、非常に精密なフォトレジスト機器です。システムの直感的なユーザーインターフェイスと堅牢なプロシージャパラメータにより、高精度で再現性のある結果が得られ、効率的で信頼性の高いプロセスが保証されます。