中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9252496 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、フォトリソグラフィ用途における直接UV露光用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、UV LEDソースを使用して高分解能の露光を実現し、マイクロ秒の露光時間を可能にして高スループット処理を実現します。また、ユーザーフレンドリーなタッチパネルインターフェイスを備え、簡単なプログラム設定とフォトリソグラフィーパラメータの監視を可能にします。フォトレジストマシンは、微細加工のための基板を準備するために協力するコンポーネントで構成されています。UVランププラットフォーム、高解像度ステッピングツール、UV感受性レジストを備えています。また、高速で高解像度のズームレンズを使用して光源を集中させます。紫外線LEDランプに長い寿命があり、適用に従って薄暗くすることができます。さらに、ランプは維持およびより長い紫外線LED伝達のために冷却することができます。ズームレンズのモデルは回折限界の決断を提供し、ステップおよび繰り返し構成の広い範囲を提供します。また、露光プロセス全体で基板に光を集中させ続けるオートフォーカス装置も備えています。ステッピングシステムの精度は、微細加工を実現するために不可欠です。このユニットは、ユーザーフレンドリーなタッチパネルインターフェイスを介して設定および監視することができます。シングルショットからマルチエクスポージャーまで、さまざまな露出構成を提供します。また、超音波で基板を回転させ、最大360mm角の基板にも対応可能です。最後に、フォトレジストツールは化学的に増幅されたポジティブトーンレジストを利用します。このレジストは、紫外線に敏感であり、所望のパターンで精度を提供するように設計されています。化学的に増幅されることは、その溶解性を促進する二次反応による露出エネルギーの範囲に耐えることができることを意味します。しかし、これらの二次反応は、望ましくない過小評価の原因でもあり、望ましくない予測不可能なパターンにつながります。TEL Lithiusフォトレジストアセットは、高精度ステッピングコントロール、UV LED照明、高度なズームレンズモデル、化学的に増幅されたポジティブトーンを組み合わせ、高解像度フォトリソグラフィ処理を実現する効率的なプラットフォームを提供します。