中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9244896 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、高精度制御と極めて低い露出エネルギーで高品質の微細加工パターンを作成するフォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィープロセスに100ナノメートル以下の分解能を提供し、プロトタイプやその他の製品の設計の詳細と精度を高めることができるという点でユニークです。TEL Lithiusユニットは、フォトレジスト露光、マスク検査、各種構造の洗練など、さまざまなフォトリソグラフィ用途に使用できます。リソグラフィーのプロセスは、フォトレジストを高エネルギーの光子群に露出させる東京エレクトロンリチウスマシンから始まります。これらの光子は、フォトレジストがフォトレジストの分子を互いに整列させる方法でフォトレジストと反応させる。整列された分子はパターンを形成し、基板または製品の表面に転送されます。Lithiusツールには、コンピュータ制御の照明アセットが付属しており、高精度の露出エネルギーを生成し、個々のショットの露出時間を制御するのに役立ちます。Illuminationモデルは、ハイスループット、マルチパターニング、および必要に応じて複数露光サイクルを提供することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius装置は、フォトレジストによる高解像度ラインやパターンを基板上に検査する高度な検査技術も可能です。高度な検査システムは、汚染、破片、および接着の問題などの欠陥を検出するのに役立ちます。このユニットは、露出部位全体で良好な均一性を提供することもできます。TEL Lithiusマシンには、露出時間や数量などの設定を素早く調整したり、他のすべての設定や変数の状態を監視したりできる強力なソフトウェアも付属しています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーは複数のプロジェクトにデータを保存し、進行中のプロジェクトのステータスを確認することもできます。ソフトウェアはまた、露出サイトのカスタムクラスタを設計する機能を提供し、必要に応じて外部ツールやプロセッサを統合することができます。TOKYO ELECTRON Lithiusツールは、高度な技術とカスタム設定を統合することで、高品質なフォトレジストパターンを極めた精度と制御を提供することができます。この資産は、研究開発プロジェクトや様々な業界のプロトタイピング用途に最適です。製品ベースの業界の品質管理部門は、コンポーネントの欠陥とユーザーフレンドリーなソフトウェアを検出できるため、このモデルから大きな恩恵を受けることができます。