中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235261 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体業界で基板上に回路素子を作り出す先進的なフォトレジスト機器です。フォトレジスト、または光に反応する光に敏感な化学物質は、リソグラフィの過程で基板上にパターン化された構造を作成するために使用されます。TEL Lithiusシステムは、ステッピングユニット、リソグラフィ照明源、レジストコーティングヘッドで構成されています。ステッパーは、チップと基板を動かす電動ステージを制御するだけでなく、基板を回転、シフト、フォーカスする正確な手段を提供する責任があります。ステッパーには、基板の多次元アライメントと動作中のチップの動きを可能にする追加のオプションも含まれています。リソグラフィ照明源は、フォトレジストの露光、またはイメージングのための光源を提供します。フォトレジストの特性に応じて様々なパターニングランプを提供し、構造の位置精度をテストするためのアライメントボードも含まれています。ユニットの最後のコンポーネントはレジストコーティングヘッドであり、基板にレジストを正確にコーティングする責任があります。この機械は基質に抵抗のコーティングを保障するセンサー制御された移動の流動度を提供します。ヘッダーは、幅50mmまでの面積と、0。01 µmまでの分解能をコーティングすることができます。東京エレクトロンリチウスマシンは、携帯電話部品、半導体試験板、OLEDディスプレイなど、さまざまな用途で使用されるチップセット上に、数十年にわたって高解像度構造を作成するために使用されてきました。フォトレジストツールは、光源の強度に応じて基板上のレジストの露出を選択的に分解して動作し、任意の形状またはサイズの高解像度構造を作成します。Lithiusアセットで提供される高度な技術は、正確な制御と精度を提供し、ユーザーは構造の製造におけるエラーを最小限に抑えることができます。