中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235183 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、リソグラフィ・ファブリケーション製品のリーディングプロバイダーであるTEL Ltdが開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、マイクロエレクトロニクスデバイス、キャリア、およびコンポーネントの製造、テスト、およびイメージングを支援するように設計されています。ユニットは、さまざまなエッチングプロセスと組み合わせて使用されるコンポーネントのセットで構成されています。主成分は、感光材料をシリコン基板に堆積させるために使用される東京エレクトロンRevenant Photoresist （TERP）です。TERPは高いフォトリソグラフィ精度で設計されており、精密なマイクロイメージングおよびナノイメージング機能を提供します。フォトレジストは紫外線（UV）にさらされ、レジストを活性化して吸収膜にするのに役立ち、複雑なマイクロスケールとナノスケールのパターンのインプリントを可能にします。その後、レジストは高乾燥温にさらされ、レジストを硬化させ、エッチングに耐性があります。このツールには、さまざまなエッチングツールやプロセスも含まれています。ガウスやベルカーブエッチング、スパッタエッチングやリアクティブイオンエッチング（RIE）技術などがあります。ガウスのエッチング処理には、適切な温度と圧力で蒸気相エッチング剤を適用する必要があります。このプロセスは、制御された排水プロセスで露出レジストをエッチングします。ベルカーブエッチプロセスは、スパッタエッチングの適用を含む代替方法であり、フォトレジストをエッチングするために、より高いエネルギーイオン爆撃を採用しています。スパッタエッチングプロセスは、金属原子を基板に堆積させるために真空アセットを使用し、RIEプロセスは積極的なイオン源を使用してパターンを基板にエッチングすることによってエッチング処理を完了します。このモデルには、さまざまなテストおよびイメージングコンポーネントも含まれています。これらには、堅牢なウエハ検査および欠陥検出システム、およびマイクロエレクトロニクスデバイスのフルイメージングのための高度な光学イメージング技術が含まれます。これらはすべて製品の品質保証に必要であり、最高水準の品質を確実に満たしています。最終的に、TEL Lithiusは、高品質のマイクロエレクトロニクスデバイスおよびコンポーネントを製造するための精密なマイクロイメージングおよびナノイメージングを可能にするように設計された、包括的なフォトリソグラフィ装置を提供します。このシステムは、幅広いエッチングおよびテスト機能を備えた信頼性の高い堅牢なイメージングソリューションを提供します。それは良質のマイクロエレクトロニクスの部品およびプロダクトを作り出すことを捜しているあらゆる組織のための完全な解決です。