中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、LFtec （Large Area Fine Patterning Platform）と呼ばれるフォトリソグラフィ装置で、大型半導体ウェーハ上に均一なミクロンサイズのパターンを作成します。このシステムは、高度なサーマルイメージングプロセスを使用して、高いスループット効率でフォトレジストのパターンを露出させます。LFtecは、5〜20 µmのパターンと、1 µm以内のアライメント精度でパターンを生成することができます。LFtecユニットは、3つの主要な部分からなるフォトリソグラフィープロセスに基づいています。照明光学、フォトレジストおよび写真の整列。最初に、照明光学はフォトレジストに特定のパターンを照らします。その後、フォトレジストは光を吸収して化学反応を起こし、フォトレジストの種類に依存します。フォトバッファは、各ウェーハに対してパターンを調整します。LFtecの機械によって使用されるTELの高度の熱イメージ投射プロセスは、スループットの効率を改善するのを助けます。フォトレジストを素早く加熱する赤外線光源を備えており、従来のフォトリソグラフィ機器と比較してパターンをより速く露出させることができます。また、パターンの線幅歪みを低減するために高精度に制御された空間フィルタを備えています。さらに、LFtecツールは、200mmから12インチウェーハまでの複数のウェーハサイズに容易に対応できるように設計されています。また、リアルタイムデータとの完全な統合は、その正確性と再現性を確保することです。LFtecアセットのユニークなイメージング能力は、大きなウェーハ上の複雑なパターンを作成するための理想的な選択肢です。同モデルで作成された均一で精密なパターンは、集積回路（IC）、 LEDディスプレイなどの多くの先進的なアプリケーションに非常に適しています。