中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9218117 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは革新的なフォトレジスト機器です。半導体部品の製造のための効率的なリソグラフィープロセスを容易にするために設計された包括的なツールセットです。フォトレジストシステムは、さまざまな種類の回路やコンポーネントの高速プロトタイピングと開発を可能にします。TEL Lithiusシステムは、高度な化学機械平面化技術を利用しています。この技術は、基板上にレベルと均一な表面を作成することによって動作します。これは、欠陥や不整合を除去するために、基板上にゆっくりと渡され、光検出器によって絶えず監視される研磨パッドを使用することによって達成されます。基板を研磨した後、薄い均一な層で表面にフォトレジストを塗布します。これにより、パターンを基板層にエッチングすることができます。その後、特別なエッチングプロセスを使用して、望ましくない材料を表面から正確に除去します。その結果、高精度で正確にパターン化された基板層が得られます。東京電子リチウスユニットには、半導体部品の開発を支援するための包括的なイメージングおよびイメージング解析ツールが含まれています。これらのツールは、線幅、角度、オーバーレイ、フォトレジストの厚さなどのパターン化パラメータを取得するために使用できます。この情報を使用してパターンを修正または微調整することができ、正確にエッチングされたコンポーネントが作成されます。マスクアライメントを改善するために、Lithiusはステッピングアライメントモジュールとリアルタイム断面イメージングツールの包括的なセットも提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius machineは、半導体部品製造において非常に貴重なツールであり、タイトな設計精度で正確なパターニング機能を提供します。このツールは、メモリやプロセッサチップなどの最新のハイエンド半導体デバイスの製造に適しています。また、ラピッドプロトタイピングとサブシステム開発の機能も提供します。