中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9204825 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TEL （TOKYO ELECTRON LITHIUS。）が開発し、ニコンメトロロジーによって承認された先進的なフォトレジスト機器です。それは最も困難な製造業および生産プロセスを扱うように設計されています。スキャンの必要性を排除し、従来のフォトレジストよりも大幅に高速です。TEL Lithiusシステムは、ソフトウェア制御のソリューションベースの設計を使用して、精密なパターンと画像を生成します。高度なウェーハレベルのリソグラフィ技術により、0。1〜50 μ mの特長サイズで非常に高い解像度と精度を保証します。また、広い線幅制御（0。15 μ m）と優れた線幅変動性能を提供します。東京エレクトロンリチウスユニットは、マスクレスフォトリソグラフィの低コストなソリューションを提供し、高精度フォトレジストのアプリケーションを可能にします。このマシンは、フォトレジストプロセスのあらゆる側面を制御するために独自のソフトウェアを使用しています。これには、パターン生成、ウェーハレイアウト、ウェーハ処理、マスク最適化が含まれます。Lithiusは、ウェーハ全体をコーティングするレジストの均一な層から始まるボトムアップ蒸着プロセスに基づいています。レイヤーは、あらかじめ決められた時間のために、エバラや石英ランプなどの光源に選択的に露出されます。この光にさらされた後、フォトレジストはパターンや製品を製造するために開発され、処理されます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius toolは、高精度・超微細構造の微細ラインと高いアスペクト比を実現します。また、非常にエネルギー効率が良く、プロセス中の廃棄物を最小限に抑えます。さらに、非常に使いやすく、最低限のトレーニングとメンテナンスが必要です。TEL Lithiusは、ハイエンド半導体およびMEMS/ナノデバイス製造向けの信頼性と費用対効果の高いソリューションです。それは生物医学、電子、自動車、電気通信、表示および印刷された回路を含む多くの企業の使用のために適しています。このアセットは非常に複雑なパターンや部品を作成するために使用でき、小さな部品の大量生産に最適です。