中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111800 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON LithiusはTEL （TOKYO ELECTRON）が開発したフォトレジスト機器です。半導体基板を超微細な特徴でパターン化するために設計されたフォトリソグラフィーシステムです。同期高解像度レーザー（SHRL）と独自の光学統合技術を組み合わせ、優れたフォトレジスト処理と画像転送を実現します。SHRLは、光強度、周期周波数、露光時間を制御する同時露光と機能を備えたレーザー照明源です。このレーザーは、任意のリソグラフィーユニットで利用可能な最小10nmのサブパターンを生成することができます。このマシンは、従来のキャリブレーションとマスク層の必要性を明らかにする直接書き込みフォトリソグラフィも可能です。TEL Lithiusフォトレジストツールは、完全に統合された光学技術を備えており、コントラストと解像度に優れた広範囲にわたる高精度イメージングを容易にします。クローズドループ制御アセットを備えており、すべての露出で再現可能な結果を保証します。その高度な機能により、より高い材料使用率と改善されたフォトレジスト耐久性を提供します。このモデルにはImage Directorソフトウェアも含まれており、デザインプロセスを完全に制御するためのパターニングレイヤーの翻訳、回転、スケーリングを提供します。その他の機能には、すべてのパターンに正確な焦点を当てるためのオートフォーカス、プロセス最適化のためのパラメータを簡単にチェックするためのダイレクトリードアウト測定などがあります。TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジスト装置は、小型で使いやすいシステムで構築された強力なフォトリソグラフィーツールです。これは、高度なレーザー技術と高度に統合された光学系を備えており、ユーザーはナノスケールの解像度と機能で優れたパターニング性能を達成することができます。それは小さい特徴サイズおよび精密イメージ投射を要求する適用のための理想的な解決です。