中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111798 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、高精度で信頼性の高いフォトレジストパターンの露出を実現する次世代フォトレジスト機器です。このシステムは、デジタルイメージングと最新の高度なリソグラフィ技術を利用して、高度な半導体プロセスのための非常にシャープで高解像度のイメージング機能を生成します。TEL Lithiusユニットは、最新の半導体加工の厳しい要件を満たすように設計されています。このマシンは、ユーザー定義のパターンとネイティブの機械生成パターンの両方を受け入れることができる、信頼性の高いフルオート露出ツールを備えています。ユーザーにはさまざまな露出パラメータ（波長、波長精度、露光時間など）が提供され、ジョブの要件に基づいて結果を微調整できます。アセットは、わずか0。3秒の露光時間で、最大0。15 µmの解像度で、大きな画像を素早く処理することもできます。このモデルは他の光学システムと容易に統合することができ、大規模な生産アプリケーションで非常に有用です。Lithiusの最先端の照明プロセスは、高度な光学系、スポットサイズ、数値開口、偏光などのプログラマブル照明パラメータを利用しています。この機能の組み合わせにより、最適なフォトレジスト画像だけでなく、タイトで正確な線と高品質の均一な密度が得られます。機器のもう一つの重要な特徴は、パターン割り当てと操作機能の広い範囲を提供する独自のPhotoStencilソフトウェアです。ソフトウェアも高度にカスタマイズ可能で、さまざまなアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。PhotoStencilソフトウェアは、画像パターンの正確な登録と整列、自動ノッチ補正、複数の露出シミュレーション、リアルタイムデータ監視などの幅広い追加機能も保証します。また、複数のソフトウェアソリューションが組み込まれており、ユーザーはさまざまな条件で露出プロセスをシミュレートすることができ、顧客のニーズに応じてプロセスをより良く予測し最適化することができます。全体として、Lithiusフォトレジストユニットは、精密光学、光学統合、人間工学的設計、高度なリソグラフィ技術、および半導体デバイス用の非常に正確で信頼性の高い画像を生成するためのソフトウェア技術の組み合わせを含みます。ユーザーフレンドリーな機能、セットアップの容易さ、複数の異なる環境で動作する能力により、このマシンは最新の半導体処理に最適なソリューションです。