中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111797 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは、電子回路基板や半導体デバイスの製造に使用される感光材料です。フォトレジストシステムは、4つの主要コンポーネントで構成されています。パルスエキシマーレーザー、検出モジュール、偏光光学、ウェーハステージ。パルスエキシマレーザーは、紫外線を使用してフォトレジストコーティングされたウェハに希望のパターンを露出する特殊なユニットです。レーザー光はフォトレジストの化学変化を引き起こし、フォトレジストの後続の処理への応答を決定します。検出モジュールは、プロセッサと2つの写真検出器で構成されています。プロセッサは、ホストコンピュータから送信されたベクトルデータを処理して解釈し、ベクトルの方向と露出量を決定します。2つのフォトセンサーは、ウェーハ表面を横切るレーザーの線形移動を測定し、ウェーハの表面全体が均等に露出するようにします。偏光光学はレーザー光線の方向を制御するのに使用される装置です。光学系にはいくつかのレンズとフィルターがあり、ビームを目的のパターンにピントを合わせるように調整できます。これにより、パターンが正確かつ正確に露出されるようになります。ウェーハステージは、レーザーの下にウェーハを正確に配置するために使用されるモーションコントロールマシンです。ウェーハのXYZ位置を制御するサーボモータとエンコーダを搭載しています。ステージは、異なる方向のウェーハを回転させる機能を持っており、その方向は露出時間を最小限に抑えるために急速に変更することができます。TELフォトレジストツールは、最先端のシステムの1つであり、高度な集積回路の製造に使用されます。このアセットは、優れたエッジ分解能で複雑なパターンを作成するための優れた速度と精度を提供します。優れた信頼性を提供し、大量生産に最適です。