中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111796 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TELの信頼性の高いフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、半導体デバイスの製造に使用され、特にフォトレジストイメージングがシリコンウェーハに回路パターンを転送するために使用されるリソグラフィープロセス中に使用されます。TEL Lithiusは、高精度と信頼性のために設計されており、プロセス性能を向上させるユニークな機能を提供します。このシステムは、不均一な露出やパターンの歪みなど、フォトレジストの露出に関連する一般的な問題を軽減するように設計されています。これは、数値開口度（NA）が大きい高度な光学ユニットと高い波長精度を使用して行います。また、あらかじめ定義された設計に基づいてウェーハ位置を正確に調整できるプログラマブルZサーボマシンを備えています。光学サーボシステムとZサーボシステムを簡単に校正でき、精度と再現性を向上させます。TOKYO ELECTRON Lithiusは、自動化された温度および湿度制御ツールにより、幅広い温度および湿度条件を通じて安定性と信頼性を提供します。これにより、イメージングに使用されるフォトレジストは、露光時間が長い場合でもその特性を維持することができます。また、温度・湿度レベルがあらかじめ設定された閾値を超えた場合、露出プロセスを自動的に終了する安全機能も備えています。さらに、このモデルには、ユーザーが簡単にフォトレジストプロセスを監視することができるカメラモードがあります。この機能は、リソグラフィ処理中に欠陥やエラーをすばやく検出するために使用できるリアルタイムのデジタルイメージングデータを提供します。カメラモードを使用して、露出パラメータを調整して画質を向上させることもできます。全体として、Lithiusは信頼性の高いフォトレジスト機器であり、リソグラフィプロセス性能を向上させるために設計された機能を提供します。レイヤー分解能と安定性を向上させるための高度な光学システム、正確なウェーハ位置決めのためのプログラマブルZサーボユニット、安定性のための自動温度と湿度制御、デジタルイメージング用のカメラモードを備えています。これらの特徴とプロセス性能の向上により、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは半導体製造装置に最適です。