中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイスの製造に使用するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。これは、低コストで高いスループットで高品質のパターニング性能を提供するように設計されています。このシステムは光学フォトリソグラフィと呼ばれるリソグラフィ技術を利用している。これは、マスクを通して光を投影し、半導体材料にパターンを生成するプロセスです。TEL Lithiusユニットには、紫外線（UV）を発する高度な光源を搭載しています。このUV光は、光マスクを通してフォトレジスト被覆半導体材料に照射されます。フォトレジスト層は感光性があり、光にさらされると構造が変化し、パターンが作成されます。その後、このパターンを開発し、半導体材料に転送することができます。このマシンは、高度な光学照明ツール、3自由度（3-DOF）アライメントモジュール、高度なウェハスキャン、および65nmまでの機能の解像度の向上を備えています。このアセットは、線幅1〜2umの高精度パターンを生成し、ステッチ効果を完全に排除することができます。また、フォトレジスト層の温度、組成、粘度を正確に管理できる高度なフォトレジスト制御モデルを備えています。また、各種材料の正確なアライメントと正確なパターニングを保証する自動アライメントシステムを備えています。特殊なダイツダイ補正ユニットを備えており、プロセス中に作成されたアーティファクトや不規則性を効果的に排除できます。さらに、基板のパターン化された表面に保護層を追加するための成膜ツールを備えています。アセットは複数のプロセスを同時に実行でき、ほとんどのマスクアライナーやウェーハステッパーと互換性があります。また、複数のレイヤーと機能を備えた大規模で複雑なデザインにも対応できます。TOKYO ELECTRON Lithiusモデルは、高精度パターニングと半導体デバイス製造の両方に費用対効果の高いソリューションを提供するために設計されています。