中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105632 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、さまざまな用途に対応したリソグラフィーソリューションを向上させるために設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、光源と特許取得済みのドライレジストユニットを組み合わせ、従来のウェット開発よりも高い精度でウェハ上にパターンを作成します。高強度のUV光源と高度な光学ツールを使用して均一な照明フィールドを実現します。応用レジストは、乾燥処理可能で、濡れた開発では見られない方法で光に反応するように設計されています。その結果、非常に均一で信頼性の高いパターン化された表面が得られます。アセットのドライレジストは、プリセンシゼーション、UV照明への反応、開発後など、さまざまなステップで写真パターン化することができます。TEL Lithiusモデルのユニークな特徴は、ソフトウェアと画像解析ツールを使用して各ステップを自動化し、監視できることです。これにより、フォトレジストプロセスのパフォーマンスを正確に定量化し、より高い精度と精度の予測可能性を確保できます。TOKYO ELECTRON Lithius装置は、一貫した性能を確保するために、多くの製造資源と機能資源を備えて設計されています。これらのリソースには、ユーザーにレジストの正確な詳細なビューを提供するカメラシステム、ウェーハの安定したレーザーフリー照明を保証するクォーツレンズ、照明エネルギーのユーザー制御を助ける粒状調整機能が含まれます。システムには定期的なメンテナンスのための機能も含まれています。Lithiusマシンは、パターニングの高精度な均一性を実現するだけでなく、0。25 µm以上のオーバーレイ精度を向上させ、ラインとスペース構造を向上させます。このツールの他の機能には、所有コストの低減、フォトレジスト溶媒の必要性のない、緑色のファブで動作する機能などがあります。TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUSアセットは、オートメーションからメンテナンスまで幅広い機能を備え、マイクロエレクトロニクス機器や部品の一貫生産を可能にします。