中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105630 を販売中
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ID: 9105630
Process Block Robotics Arm
P/N: PRA ASSY
Includes:
010-204079-11 FORK(200),PRA 1
5010-307799-13 BLOCK(200),PRA 3
020-005778-1 CAP SCREW CBSST4-8 3
020-002601-1 BAIND SCREW M3*4 SUS304 6
032-000585-1 FLAT WASHER M4 1L SUS304 3
5010-308529-11 PLATE(1-200),HEAT SHILED 1
5010-406949-11 SUPPORT(X-1) 1
5010-308530-11 PLATE(2-200),HEAT SHILED 1
5010-302404-11 FRAME 1
020-000028-1 CAP SCREW M4*6 SUS304 2
020-007602-1 TORX CAP SCREW M4*8 SUS304 2
020-002913-1 CAP SCREW M4*8 SUS304 W/SPR & FLAT WASHER 2
032-000011-1 FLAT WASHER M4 SUS304 POLISHED ROUND 2
032-000058-1 SPRING WASHER M4 SUS304 2
5010-101146-12 BASE,(X)UPPER 1
5010-101147-13 BASE(X),LOWER 1
5004-400017-12 ARM(X1-1) (509510045511 1
5010-305344-11 SUPPORT(X1-1) 1
5004-400018-11 ARM(X2-1) (509510045511 1
5010-306532-11 ARM(X2-2) 1
5010-305345-12 SUPPORT(X2-1) 1
5004-400019-11 ARM(X3-1) (509510045511 1
5010-306533-11 ARM(X3-2) 1
5010-305346-11 SUPPORT(X3-1) 1
5004-400015-11 CLAMP,BELT (509510045411 6
5010-401565-12 PLATE 5
5010-404925-11 STOPPER(X-1) 3
5010-404926-11 STOPPER(X-2) 6
5010-305873-11 SUPPORT(X-2) 1
5010-305987-11 SUPPORT(X2-2) 1
5010-306512-12 STAY,SUPPORT 1
5010-405028-11 COVER,CABLE 1
5010-404472-11 COVER,SENSOR 1
5010-405427-11 PILLER(1) 2
5010-405428-11 PILLER(2) 4
5010-307086-12 PLATE(1),SIDE 1
5010-306535-12 PLATE(2),SIDE 1
5010-306536-12 PLATE(3),SIDE 1
5010-404927-11 BLOCK,AJUST 2
5010-405430-12 SHUTTER(X) 3
5010-405429-12 BRACKET,SUPPORT 1
5010-408761-11 SHUTTER(TH) 1.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体基板などのウェハレベル機器の露光用に設計されたフォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、基板上に様々なパターンを作成することができ、高精度で高精度な電子部品の開発を可能にします。TEL Lithiusシステムは、EUV （Extreme Utraviolet）光源を採用し、0。3umデバイス機能のリソグラフィを可能にし、マスクの欠陥を0。2um以下のサイズで検出します。このユニットは、マスクの欠陥を検出するために低収差（ぼかし）で精密なスキャン光学を利用した自動マスク検査室を備えています。マシンはまた、露出中にマスクがシフトしないように保持マグネットツールを使用しています。アセットは様々な露光モードに対応しており、基板の最適なパターニングが可能です。たとえば、ワンショット露出モードでは、1つのマスクで複数のデバイスを同時に露出できます。高解像度のスポット露出モードにより、従来のステッピングシステムよりも高解像度のシングルピクセル露光が可能です。さらに、複数の露光モードにより、基板の条件に合わせて光強度を調整できます。TOKYO ELECTRON Lithiusモデルは、簡単な操作のために設計されています。ユーザーフレンドリーに設計された直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータは機器をすばやくマスターできます。また、高速かつ高精度なオートフォーカス機能を備えており、フォーカス時間の短縮と精度の向上を実現しています。さらに、このシステムは自動校正機能を備えているため、手動校正の必要はありません。最後に、Lithiusユニットは高信頼性で、モジュラーアーキテクチャは高速とパフォーマンスに最適化されています。それに適用範囲が広い拡張可能な設計があり、機械が将来の条件を満たすために改善されるようにします。このツールには、環境および安全対策も組み込まれており、すべてのユーザーに安全で健康的な作業環境を提供します。
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