中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105625 を販売中
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ID: 9105625
Develop Process Station
P/N: DEV ASSY
Includes:
FRAME ASSY BASE - 5085-412352-13
BASE(MIDDLE) ASSY - 5085-412349-12
CUPBASE ASSY - 5087-404181-12
3PIN ASSY - 5087-403368-12
COVER(CUPBASE) ASSY - 5085-409612-15
OUTCUP ASSY - 5087-401364-13
ARM(L) ASSY - 5087-400475-16
BASE(SCAN) ASSY - 5085-412389-11
MOTOR(L) ASSY - 5087-402854-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
WASHERNOZZLE ASSY - 5085-405111-11
AIR OPE ASSY(BR) - 5085-407386-16
SCAN(ARM-B) ASSY - 5087-403489-15
COVER ASSY - 5085-412524-12
FRONTBOX ASSY - 5085-412353-13
E-BOX(DEV) ASSY - 5087-403481-11
SUPPORT ASSY - 5085-412354-13
FRAME ASSY MOTOR - 5087-400478-15
DUCT(DEV)ASSY - 5085-412380-13
CHUCK(SS) ASSY - 5085-411385-11
ARM(R) ASSY - 5087-400476-16
MOTOR(R) ASSY - 5087-400477-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
NOZZLE TOP(NLD) ASSY - 5085-413053-11
LD BATH ASSY - 5085-404315-17
SUPPORT ASSY(NLD) - 5085-401943-11
WATERBLOCK ASSY(NLD) - 5085-404692-14
VALVE ASSY(AMF) - 5087-400486-15
CUP ASSY (LD) - 5085-409683-13
MANIFOLD ASSY (4LINE) - 5085-404368-13
SOLENOID(BLOCK) ASSY - 5085-408453-11
GUIDE(SCAN) ASSY - 5085-409482-11.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイスやディスプレイなど、さまざまな業界で使用されるフォトレジスト機器です。TEL Lithiusは、高度なリソグラフィーシステムにより、高精度の材料成膜とファインパターニングを提供します。このユニットは高解像度プロジェクターをベースにしており、堆積した薄膜材料に化学反応光の画像を投影し、高精度なパターンを作成します。さらに、プロジェクターはマルチサイズのレーザーと同期して最適な解像度を確保します。この機械は0.1µm以下の最低の特徴のサイズの決断の複雑な設計を作り出すのに使用することができます。ウェットエッチングとケミカルエッチングの組み合わせにより、フォトレジスト残留物を簡単に除去できます。これにより、残留フォトレジストがデバイスの他の部分に転送されないようにします。東京エレクトロンリチウスツールには、精密な成膜とパターニングのための高度な制御資産も含まれています。モデルソフトウェアは、レーザープロジェクターの同期、エッチングパラメータ、およびその他の機器設定など、多くのパラメータを制御することができます。また、システムソフトウェアは、生産パラメータを迅速に最適化するためのデータを提供するために、外部データベースとの統合を可能にします。また、高精度の真空チャンバーを内蔵しており、フォトレジスト層の開発・加工に最適な大気制御が可能です。この真空チャンバーは、気泡や残留フォトレジストも低減します。最後に、Lithiusマシンは、簡単で直感的な操作を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスが付属しています。また、工具が1つの材料または複数の材料を一度に処理するためのシーケンスをカスタマイズしたり、組み込みモニターを使用して製造プロセスの進行状況を監視したりすることもできます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius assetは、高精度の材料成膜と微細なパターニングのための高度なフォトレジストモデルで、カスタマイズ性が高く、フォトレジストの開発と加工に最適な雰囲気制御を提供します。
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