中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体デバイスの発明において、照明器具を用いてウェーハ基板上のリソグラフィパターンを作成するフォトレジスト機器です。ウェーハ基板上にリソグラフィパターンを作成し、よりシャープで精密なリソグラフィパターンを作成するのにかかる時間を短縮するように設計されています。これらの高精度パターンを作成するために、TEL Lithiusシステムは、統合光学系、高度な光源、光伝送ユニット、電子ビーム露光を含む独自のリソグラフィ技術、およびIライン、 Deep UVおよびEUV照明源を組み合わせて使用します。これらの技術を利用することで、高密度、均一、高精度のリソグラフィーパターンを広範囲に生成することができます。統合された光学系は、光源が非常に精密なローカライズされたパターンを作成することを可能にし、光伝送ツールは、可能な限り正確に光を送信するのに役立ちます。また、リソグラフィ資産は、高濃度の電子ビームを利用して広範囲にパターンを作成する電子ビーム露光技術など、独自の技術を使用しています。また、Iライン、 ディープUV、 EUV照明源を利用し、波長248nm〜13。5nmの波長で照射します。また、自動ウェハマッピング、スキャン角度制御、温度補償など、さまざまなオーバーレイ精度とプロセス制御機能を備えています。これらの機能は、リソグラフィ装置によって作成されたパターンが正確かつ正確であることを保証するのに役立ちます。Lithiusは、ウエハ基板のパターニング効率の高いシステムとして設計されています。統合された光学、光源、および独自の技術の組み合わせは、非常に正確なリソグラフィーパターンを作成するのに役立ち、パターン作成に必要な時間を削減します。また、パターンが正確で均一であることを保証する自動ウェーハマッピングなどの機能を備えた高精度なユニットです。これらの機能を組み合わせることで、Lithiusは高品質のリソグラフィーパターンを作成するための理想的なマシンとなります。