中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102159 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、コンピュータチップなどの半導体デバイスや電子部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコンウェーハに光感受性材料（フォトレジスト）を適用します。光にさらされると、フォトレジストの露出に応じて、シリコンウェーハの一部がエッチングされます。その後、部品の物理的な形状を残りの領域にエッチングすることができます。TEL Lithiusフォトレジストユニットは、完全なシリコンウェーハまたはその他の基板上でフォトレジスト材料のカバレッジの重要な層をスクリプトするために開発された真空ベースの機能です。この機械は、複数のプロセスの動きを同時に制御し、最高の均一性と生産性を提供します。これは、最終プロセスのパフォーマンスに必要な特別な特性の包括的なプログラミングを確実にするために、段階的にリソグラフィープロセスに従っています。このツールは、200mmシリコンウェーハを処理する機能を備えており、ガラスのような他の基板と同様に、より大きな直径300mmウェーハでも機能します。アセットでは、プラスからマイナスまで幅広いレジストを使用できます。異なるレジストは、それぞれの技術者の特定の目的や、用途に応じて、石英、石英、ガラス、シリコンなどの多くの基板に使用する必要があります。これにより、半導体アプリケーションからディスプレイや太陽電池アプリケーションへの多数の用途が可能になります。東京エレクトロンLithiusフォトレジストモデルは、スピンリンス、プレコート、ポストコート、プレベーク、やさしいベーク、ソフトベークなど、一連のステップで機能します。これらの各ステップは、望ましい結果を確実に満たすために監視され、接着およびプロセス緯度は仕様内にあります。また、プラス型とマイナス型の両方で多層レジスト戦略を使用することができ、非常に高品質なパターンを設計することができます。システム全体がソフトウェア駆動であり、使いやすさとプログラミングを可能にします。マルチウェーハ機能をサポートし、手動のウェーハ処理に代わる完全自動化ソリューションを実現します。さらに、このユニットには、温度、露光時間、スピン速度、圧力など、安全で信頼性の高い多数のプロセス特性が装備されています。全体的に、Lithiusフォトレジストマシンは、非常に複雑で精密な半導体コンポーネントを製造するための信頼性と効率的な方法を提供します。それは制御および正確さの大きい程度を提供し、自動化されたプロセスはプロダクトの一貫した質を保障します。