中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9032288 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体産業のフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィー（Photolithography）とは、光に敏感な化学物質を用いて設計パターンを基板に転写するための印刷技術である。フォトレジストシステムは、光源、デザインパターンを含むフォトマスク、フォトレジスト材料で構成されています。光源は通常紫外線レーザーまたは水銀アークランプです。フォトマスクは、ガラス、金属、またはプラスチックの一部で、デザインのパターン、穴、または溝がエッチングされています。フォトレジストは、基板の上に適用される光感受性材料です。光にさらされるとフォトレジストが活性化し、基板と化学反応を起こしてパターンを表面にエッチングします。TEL Lithiusユニットは、フォトリソグラフィープロセスの精度を向上させるように設計されています。電極測定システムとレーザー検出システムを使用して、フォトマスクおよびフォトレジストシステムの精度を向上させます。複数の電極を使用することで、フォトレジスト材料や粒子の変形を検出し、フォトレジストパターンの精度を確保することができます。さらに、精密レーザー検出ツールは、同時に観測精度を利用し、プロセス中のミスアライメントとモーションエラーを自動的に調整します。TOKYO ELECTRON Lithiusアセットは、従来のフォトリソグラフィープロセスで実現可能な回路特性サイズを小さくできるように設計されています。これは、精密レーザー検出モデルと装置内で利用可能なマイクロプロセッシング回路を利用して達成されています。フォトマスクとフォトレジストのサイズ、形状、向きを検出する精密レーザー検出システムを使用して、基板上に非常に小さな特徴を作成することができます。また、マイクロプロセッシング回路によりフォトリソグラフィープロセスを自動化することができ、線幅などの出力パラメータを制御および調整することができます。全体的に、Lithiusユニットは高精度で自動化されており、小型の回路機能を作成することができます。これにより、半導体産業での使用に最適で、効率的で信頼性の高いフォトリソグラフィープロセスを提供します。