中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293829891 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、複雑なナノスケール構造を要求する先端技術の統合パターニングソリューションを提供する次世代フォトレジスト機器です。このシステムは特性長さ100nmのサブレーザービームを使用しており、フォトレジストパターンを50nm以下のサイズの要素に作成することができます。TEL Lithiusが使用するレーザーダイレクトイメージング（LDI）技術は、パターニングプロセスに最大限の速度と制御を提供します。超低数値開口（ULNA）レンズは、最先端の動作ソフトウェアとともに採用されています。この組み合わせにより、高速で高解像度のイメージングを実現し、最小被曝量はわずか0。2 mJ/cm2です。また、フォトレジストパターンに欠陥がないようにするための高度なハードウェア保護メカニズムを備えているため、このユニットは信じられないほど信頼性があります。さらに、粒子検出、ほこり除去、クリーンルーム整合性チェックなどのクリーン機能が内蔵されているため、複雑な環境に最適です。東京電子Lithiusのレーザー光線の精密な制御は、パターンの歪みを最小限に抑えます。このツールは、プロセス精度を犠牲にすることなく高速プロファイル制御を可能にします。また、高度なフィードバックアルゴリズムを使用して基板までの焦点を最適化し、正確なプロセス結果と短い開発とサイクル時間でイメージングを改善します。また、メンテナンスフリーの量産を可能にする自動メンテナンス・最適化機能を搭載しています。これらの機能により、ユーザーはプロセスパラメータを継続的に監視し、変更に迅速に対応できます。また、画像シミュレーションもサポートしているため、ユーザーは事前に操作機器内で完璧な空中画像を開発することができます。Lithiusシステムの強力な機能と信頼性により、複雑なナノスケール構造を必要とするアプリケーションに最適です。このユニットは、最高レベルの精度、速度、信頼性を保証し、100nm以下のサイズのフォトレジストパターンを必要とする高度な技術に不可欠な機器です。