中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293821715 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON LithiusはTEL Ltd。が開発したフォトレジスト機器です。（東京電子）集積回路（IC）の製造に使用します。このシステムは、高精度露光装置、高速精密開発タンク、表面処理装置、リソグラフィーソフトウェアなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。フォトリソグラフィープロセスの開始時に、半導体ウェーハに「フォトレジスト」を適用します。フォトレジストは、使用されるフォトレジストの種類に応じて、紫外線やその他の放射に敏感な光感受性材料です。TEL Lithiusユニットを使用した高精度露光装置は、フォトレジストを正確に照射します。この装置は非常に安定した真空シールのプロセス環境で構成され、特別なランプの光源は均一な温度で維持され、露出の正確さそして信頼性を保障します。このマシンには、フォトレジストの開発において最高レベルの精度を提供する高速精密開発タンクも含まれています。精密開発タンクには高精度の基板位置決めツールが搭載されており、ウェハの正確なアライメントが可能です。フォトレジスト開発に加え、表面処理モジュールも搭載しています。このモジュールは、荒削り、ウェットクリーニング、脱脂、およびドライプラズマエッチングに使用されます。これらはすべて、フォトレジストの望ましい層の形成に必要です。他の既存のシステムと比較して、Lithiusモデルは最高レベルの精度を提供するだけでなく、フォトリソグラフィープロセスのプロセス時間を短縮します。これにより、半導体企業は以前よりも高速かつ低コストでICを製造することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius装置は、TEL/TOKYO ELECTRON Ltd。が開発した総合フォトリソグラフィーシステムです。IC製造用（TEL）高精度露光装置、高速精密開発タンク、表面処理装置、リソグラフィーソフトウェアなど、様々な部品で構成されています。高精度で高速なICを低コストかつ高速に生産することができます。