中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814758 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体アプリケーションで使用される業界をリードするフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、紫外線にさらされたときに物理的および/または化学的反応を受ける光に敏感な化学物質を使用することを可能にします。これにより、リソグラフィ、薄膜成膜、エッチング、パターニングなど、さまざまな用途が広がります。TEL Lithiusユニットは、フォトパタニングの制御と最適化を向上させます。レジスト層に焦点を当てた紫外線の狭いビームで旋回スタイルのデザインを採用しています。その後、太陽エネルギーは化学エネルギーに変換され、フォトレジスト反応が始まります。TOKYO ELECTRON Lithius Machineは、装置サイズの小型化、サイクルタイムの短縮、歩留まりの向上を可能にする優れた精度を提供します。リチウスツールは堅牢な材料で構成されており、半導体製造で最適な結果を得るために特別に設計されています。アセットの精密指向部品はエア・タイトで、機械部品や電気部品は露出しません。これにより、メンテナンスを最小限に抑えた信頼性の高い一貫した運用が可能になります。さらに、コンパクトで効率的なモデルで、複数のアプリケーションに簡単に適用できる高解像度動作を実現しています。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusの動作は高速で正確です。高度な冷却装置を使用して、システムはレジストマスク内のホットスポットを減らすことができます。これにより、レジストパターンの精度が向上し、デバイスの歪みを回避し、化学廃棄物を最小限に抑えます。さらに、UV光出力を制御するための複数のオプションを備えているため、さまざまな用途でフォトレジスト反応を正確に制御できます。正確なリソグラフィと優れたフォトレジストの結果を保証するために、TEL Lithiusマシンには、洗練された検出および監視システムのセットが装備されています。これには、イメージングツール、電極監視アセット、および光学パワーモニターが含まれます。イメージングモデルは、ユーザーがプロセスを監視し、必要に応じて調整することができます。光パワーモニターは、レジストパターニングを最適化するために、紫外線の強度の正確なレベルを検出し、維持することができます。TOKYO ELECTRON Lithiusは、高精度な結果を得ることができる強力なフォトレジスト機器です。これは、複数の半導体アプリケーションに適しており、プロセスの簡単な制御と監視を可能にします。高度な機能と包括的なシステムを備えたLithiusは、フォトパターニングとリソグラフィの優れたプラットフォームを提供します。