中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814164 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TELが開発した、高度なソフトウェア、ハードウェア、材料を組み合わせて、フォトレジストを正確に露出させるフォトレジスト機器です。フォトレジストは、半導体デバイスやその他の集積回路の製造に使用される光感受性材料で、フォトセンシブフィルムとフォトレジスト開発者の2つの主要なコンポーネントで構成されています。TEL Lithiusフォトレジストシステムは、さまざまな基板におけるフォトレジストの露出を正確かつ一貫して測定および制御するように設計されています。製造環境に組み込まれた露出ユニットを使用し、異なるフォトレジスト層に正確な用量を供給することができます。特殊露光機と組み合わせて使用すると、基板や基板の特性に合わせてフォトレジスト層の露光量を調整できます。東京電子リチウスフォトレジストアセットの露光ツールは、高精度なUV光源を使用して、適切な露光量を確実に供給します。この光源は、露光層の正確な制御を可能にする自動層の厚さ監視モデルと結合されます。また、プレトリートメント、ポストトリートメトロロジーなどの各種周辺機器を搭載し、層の厚さ判定や検証を行っています。リチウスフォトレジストシステムは、フォトリソグラフィを使用した微細加工プロセスに特化して設計されています。このユニットは、微細加工されたウェーハ上のパターンのエッチングまたは成膜を可能にし、これらのパターンが一貫した信頼性の高い特性を持つことを保証します。このマシンは、フォトレジストパターンを自動的に検査して、望ましい設計に適合することを確認することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusフォトレジストツールは、高度なソフトウェア、ハードウェア、材料を組み合わせることで、マイクロデバイスや集積回路を製造するための信頼性と高精度な方法を提供します。その正確な露出と測定技術により、各フォトレジスト層がデバイスの仕様に合わせて正確に調整され、自動化されたレイヤーモニタリングアセットにより、一貫した信頼性の高い生産結果が保証されます。