中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293793614 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、精密フォトリソグラフィープロセス用に設計された完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは、効率的なレジスト処理と優れたパターニング結果のための幅広い機能を提供します。ハイスループット生産に最適化され、最新のリソグラフィ技術を活用しています。このユニットは、大小の基板上で最大8種類のレジストを一度に処理することができ、自動化された厚さ制御機構により、プロセスの均一性と高精度を保証します。マシンは、光源、光学ステージ、およびマスクステージに合わせて基板を配置するためのプラットフォームで構成されています。光学ステージには、基板を移動するために使用される精密アライメントツールとステッパーが含まれています。光源は、必要な波長と強度レベルの光を提供する責任があり、標準および高度なリソグラフィープロセスの両方が可能です。このアセットには、特殊なマルチレイヤー、レジスト処理モジュール、および大面積の基板を自動的に処理するカスタムデザインのコンベアなど、さまざまな高度な機能があります。自動ウェーハ位置決めモデルは、独自の光学スキャナとスマートクリーニング装置と統合されています。また、モーター式マスクステージ、内蔵真空システム、オートチューニング機能を備えています。ユニットは、汚染から優れた保護を提供し、長期的なメンテナンスを確保するために特別な保護ガスで満たされています。シンプルなユーザーインターフェイスとタッチスクリーンディスプレイで設計されており、パラメータを迅速かつ正確に調整できます。また、低振動設計を採用し、振動減衰の必要性を部分的に排除しています。フォトアライメント、フォーカス検索、レンズフォーカス機能を統合し、優れたパターニング結果を得ることができます。アセットは高速かつ効率的で、オペレータに比類のないパフォーマンスと柔軟性を提供します。幅広いフォトレジストに対応し、幅広い業界のニーズに応えるよう設計されています。フォトリソグラフィープロセスを最適化し、スループットを向上させ、優れた精度を維持するための理想的な方法です。