中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293767330 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、フォトリソグラフィの精度、速度、精度を向上させるために設計された洗練されたフォトレジスト機器です。リトグラファーに最高レベルの性能とフォトリソグラフィープロセスに対する最大の制御を提供します。TEL Lithiusシステムは、リソグラフィーツールとフォトレジストユニットの2つの主要な要素で構成されています。リソグラフィーツールは、ターゲット基板にパターンを迅速に露出、開発、エッチングするように設計されています。高精度モータ、光学、画像キャプチャ、データ記録システムを搭載しており、300x300mmのターゲット基板に対応できます。フォトレジストマシンは、洗練されたレジスト製剤セットであり、特定のAdvanced Composition Efficiency （ACE™）レジスト製剤プロセスを使用して、基板へのパターンの露出と転送を保証します。TOKYO ELECTRON Lithiusは、プロセスの精密制御を可能にするソフトウェアスイートを使用しています。これには、目的の画像を生成するためのパターンジェネレータソフトウェア、露出パラメータを校正するための露出ソフトウェア、およびリソグラフィープロセス全体を管理および制御するための自動プロセスソフトウェアが含まれています。その他の機能には、エラーを検出して修正する自動補正ツールや、画像データをアーカイブするためのアセットがあります。Lithiusは0。8umのフォーマット分解能を使用して基板の正確で一貫した処理を可能にするように設計されています。また、角度付き露出と回転露出もサポートしているため、設計および製造プロセスの柔軟性を高めることができます。このモデルはエネルギー効率が良いように設計されており、エネルギーコストと全体的な生産コストを削減するのに役立ちます。また、高速イメージングおよびスキャン技術を採用しており、更新の高速化とスループットの向上に貢献しています。TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは自動検査も可能で、フォトリソグラフィープロセスの品質を見直し、製品の品質が安定していることを確認することができます。全体的に、TEL Lithiusは、リトグラファーが最高レベルの精度と精度を簡単かつ一貫して達成することを可能にする洗練されたフォトレジスト機器です。これは、プロトタイピングと生産の両方に効率的かつ効果的な処理のための強力なツールをユーザーに提供します。
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