中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766619 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TEL （TOKYO ELECTRON Lithius。）が開発したフォトリソグラフィ用途の業界標準となる先進的な機能を備えたフォトリシストシステムのシリーズです。これらのシステムは、ガラス、結晶、ポリイミド、ポリシリコンなどの基板の正確なパターニングを正確なアライメントと露出制御で提供します。機器の主な構成要素は、フォトレジスト処理環境、露光システム、アライメントユニット、プロセス制御機械、後処理ツールなどです。フォトレジスト処理環境は、安全で制御された環境で空中に存在する危険な化学処理を処理するように特別に設計されています。これにより、フォトリソグラフィーの仕事が正確かつ正確に確実に完了できるようになります。露光アセットは、フォトリソグラフィーパターンを適用するための調整された光強度分布を提供します。これは、基板全体に均等に分散した光ビームを生成するために、高精度のUSHIO光源の配列で行われます。露出プロセスは、優れたアライメント精度で微細なパターニングを達成するために必要に応じて調整することができます。アライメントモデルは、露光プロセス中の正確な基板位置決めと移動を提供します。高感度検出器のセットは、露出プロセスの前後に基板の正確な位置を決定し、正確なオーバーレイとパターン登録を可能にします。さらに、CCDカメラを使用してパターン認識およびイメージング解析を実行します。プロセス制御装置は、正確なフォトリソグラフィ処理に必要なすべての計算を実行します。このシステムは、マスクの正確な位置決め、理想的な露出パラメータの計算、および小さな温度と湿度の変化に合わせて自動校正することができます。最後に、後処理ユニットは、開発、エッチング、保護コーティングなどの追加の処理要件を処理します。この機械は基質の完全性を維持するために処理の前後に必要な紫外線および化学保護を提供します。TEL Lithiusフォトレジストシステムを使用した結果は、信頼性と高品質の結果です。正確なパターニング、正確なアライメント、再現性を必要とするフォトリソグラフィーアプリケーションは、比類のない精度と精度で実行されます。このツールは、複雑なアプリケーションを処理し、複雑な電子デバイスを効率的に実現するのに十分な堅牢性を備えています。