中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766617 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、エレクトロニクス、太陽光発電、バイオテクノロジーの各分野で使用される薄膜の加工に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、回転ステージ、吸収セル、真空チャンバーなどの高度に専門化されたコンポーネントで構成されており、すべてが薄膜の堆積、開発、エッチングに使用されています。回転ステージには、高度なセンサーユニットとモーターを搭載し、可変速度とモーションプロファイルで回転させることができ、薄膜の正確な蒸着が可能です。この段階は通常、真空チャンバーに統合されており、環境の温度、圧力、純度を制御することができます。真空チャンバーには特殊な吸収セルがあり、これには基板に効率的かつ正確に膜を堆積させるように設計された有機金属試薬のスペクトルが含まれています。さらに、この機械は、蒸着プロセスを維持するのに役立つ内蔵の冷却ゾーンを備えており、特定の要件を満たすために膜厚を最適化することができます。TEL Lithiusフォトレジストツールは、フィルムの開発とエッチングを可能にする高度なイメージングアセットも備えています。このモデルは、調整可能な周波数を持つ低出力光源を使用して、堆積している薄膜の強化されたイメージを作成します。フィルムが開発されると、機器は適応マスクと保護スペースを使用して極めて精密にエッチングすることができます。このイメージングシステムは、最大450オングストローム、または4。5ナノメートルの厚さの正確な薄膜を作成することができます。さらに、東京エレクトロンリチウスフォトレジストユニットには、遠隔診断、自動制御、多層安全システムなど、さまざまな最先端のサポートシステムが搭載されています。これらのサポートシステムは、非常に複雑な薄膜を開発およびエッチングするために、機械の全機能を効率的に使用することを可能にします。要約すると、Lithiusフォトレジストツールは、最も要求の厳しい薄膜関連アプリケーションに適した高度で効率的に設計された資産です。回転ステージ、吸収セル、真空チャンバー、イメージングモデル、各種サポートシステムをはじめ、様々なレベルの複雑さと精度の薄膜の堆積、開発、エッチングに使用されています。