中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766146 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、集積回路製造工程での使用を想定した高精度フォトレジスト装置です。これは、信頼性の高い反復可能な結果を生成することができ、また、最先端のフォトレジスト材料を収容することができる様々な機能を持っています。このシステムは、LCT（塩化リチウムめっきタンク）とPRT（フォトレジスト基板タンク）の2種類のチャンバと、その他の一連の支持チャンバを備えています。LCTはウェーハに塩化リチウムのコーティングを適用するために使用され、PRTはフォトレジストを適用して層を開発するために使用されます。これは、正確にプログラムされた光と化学的な動きのシリーズを使用して行われ、層が均等に適用され、正確な厚さとパターン要件を満たしていることを確認します。フォトレジストコーティングは、マスキング、深紫外線、レーザーなど、さまざまな露光方法を使用して開発されています。これらの方法により、レイヤーの厚さとパターンを正確に制御することができ、非常に複雑でカスタマイズされたデザインを作成することができます。このユニットはまた、ウェーハでPRTタンクとLCTタンクを簡単に並べることができるアライメントマシンを備えており、フォトレジストが正しい位置に適用されるようにしています。さらに、いくつかの異なる冷却システムが含まれており、露出または開発プロセス中にフォトレジストが過熱しないようにするのに役立ちます。最後に、TEL Lithiusには多くの自動機能が搭載されており、一貫性と生産性を向上させます。これには、自動ウェハハンドリング、フォトレジストアプリケーション、コーティング厚さ制御、アライメントが含まれます。これにより、各ウェハに同じレベルの精度が与えられ、エラーのリスクを低減し、再現可能な性能を確保できます。TOKYO ELECTRON Lithiusは全体的に非常に優れた信頼性の高いフォトレジストツールです。自動化されたハンドリング、正確なアライメント、高度な露出と開発などの機能は、最も要求の厳しい製造プロセスに適した複雑で詳細なフォトレジスト層を作成するのに理想的です。