中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763046 を販売中

ID: 293763046
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Coater / Developer system, 12" (2) Block machines CIM: SECS Handler system: Robot (CRA, PRA, (3) IRAM, IRAS) Factory interface: (5) FOUP (2) Temperature controllers (3) Cabinets: Coater Resist Developer Power box 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、半導体製造の世界をリードするTELが開発したフォトレジスト機器です。このシステムはフォトリソグラフィーのプロセスで使用され、フォトマスクからウェーハにパターンを転送します。フォトレジストユニットは、極めて正確で一貫性のあるフォトリソグラフィープロセスを実行するマシンで構成されています。マシンは、特定の基板にフォトレジストの正しい層を提供するロボットアームを持っています。ロボットアームは、特定の場所や特定の層の厚さにフォトレジストを適用するようにプログラムすることができます。また、フォトリソグラフィープロセスを助けるために他の化学物質を適用します。また、フォトレジストを硬化させて基板上に正確に形成できる硬化ユニットを搭載しています。硬化ユニットを使用して特定の温度でフォトレジストを硬化させることができ、フォトレジストが正確に形成されるようにするために必要です。TEL Lithiusツールは、従業員と環境を安全に保つためのさまざまな安全機能も備えています。スパーク、静電気の蓄積、ポリマーフィルムの漏れなどの危険条件を検出する一連の光学センサーを搭載しています。また、危険な蒸気やほこりからユーザーを保護するための安全対策が装備されています。機械自体は非常に耐久性と信頼性があります。その部品はすべて高品質の材料で作られており、メーカーは資産がその精度と精度を維持することを保証するために詳細なメンテナンスガイドを提供しています。TOKYO ELECTRON Lithiusは、プロフェッショナルな半導体製造業界にとって非常に貴重なツールです。その正確さと安全性の特徴は、フォトリソグラフィープロセスが一貫した正確な結果を生み出すことを保証します、その耐久性と信頼性は、それが今後何年もの間、業界にうまく役立つことを保証します。
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