中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763045 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、TEL製の高度なフォトレジスト機器です。TEL Lithiusシステムは、ディスプレイやロジック集積回路（IC）製造など、さまざまなリソグラフィ用途のためのツールとして設計されました。様々な薄膜材料やフォトレジスト製品の正確なパターニングが可能です。TOKYO ELECTRON Lithiusマシンには、幅広い薄膜材料を素早く正確にパターン化できる高度な機能が搭載されています。このツールにはダイナミックフォーカスコントロールが装備されており、ユーザーはアセットのフォーカスを正確かつ迅速に調整し、可能な限り最高のパターニング精度を得ることができます。また、プログラム可能なウェーハキャリアを備えており、ユーザーは手動で必要な位置にウェーハを移動することができます。Lithiusモデルを使用する場合、ユーザーは2つの異なるマスクタイプから選択できます。1つ目は、ウェーハの小さな部分をパターン化するために使用される小さなマスクです。2つ目は、より広い領域をパターン化するために使用できる大型マスクです。ユーザーは、単一の露出サイクルと複数の露出サイクルの両方を含むさまざまな露出習慣から選択できます。さらに、機器にはさまざまなレーザー電源設定が含まれており、ユーザーは特定のアプリケーションに必要な電力レベルを設定できます。このシステムはまた、さまざまなアプリケーションのパターニング性能を最適化するためのさまざまなレンズオプションを提供しています。レンズサイズとデザインは、アプリケーションの機能の解像度を最大化するために調整することができます。さらに、ユーザーは照明源の範囲から選択し、ターゲットiso線量を収集することができます。このユニットには、オペレータとユーザーを安全に保つためのさまざまな安全機能も含まれています。このツールはまた、オペレータとユーザーに資産が安全でないレベルに達しているかどうかを知らせるために大きなアラームを発します。最後に、このモデルには、機器を最適に動作させるための堅牢なメンテナンスと校正プログラムが含まれています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、薄膜材料の小型・大面積を迅速かつ正確にパターン化することができる、高度で信頼性の高いフォトレジストシステムです。このユニットは、ユーザーが焦点を調整し、露出サイクルを選択し、レンズと照明の設定の範囲を設定することができます機能の範囲を提供しています。さらに、このマシンはオペレータの安全を確保するために多数の安全機能を備えています。最終的に、TEL Lithiusは、リソグラフィ用途のための非常に直感的で信頼性の高いツールです。