中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763044 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUSは、TEL （TOKYO ELECTRON）が設計・製造する多角形イメージングフォトレジスト装置です。このシステムは、レーザーが様々な角度で表面をスキャンし、高精度の基板ステージで基板上に画像を投影することによって動作します。基板ステージは速度と方向を変化させることができ、エッチングおよびパターニング工程で幅広いパラメータを使用することができます。その後、光感受性フォトレジストを基板に適用し、レーザービームからスキャンした画像がフォトレジスト上にパターンを形成します。このパターンは、元のレンズスキャンとともに、基板の特定の領域を選択的にエッチングする電子ビームとともに採用されています。TEL Lithiusユニットは高分解能機能を備えており、最大28ナノメートルのサイズの特徴パターンを一貫して作成できます。この非常に微細な解像度と高精度により、エッチングおよびパターニングプロセスの高度な制御を維持することができます。さらに、このツールには複数のパターニングレベルがあり、基板上で複数の構造を製造することができます。これにより、レイアウトの多種多様な変更や改良が可能になり、潜在的な設計上の欠陥に対処するのに非常に役立ちます。TOKYO ELECTRON Lithiusアセットは半導体製造に使用するために設計されていますが、エッチング、フォトリソグラフィー、コーティングなどのさまざまな用途にも使用できます。この安全で信頼性の高いモデルには、プロセスの各段階をスムーズに実行できる高度な監視機能もあります。また、他のシステムとの安全な通信のための複数の通信ポートを持っているだけでなく、他の多くの信頼性の高い安全対策。Lithius装置は、さまざまなエッチング、フォトリソグラフィー、コーティングプロセスを実行するための非常に信頼性が高く安全なソリューションです。その高度な機能、高解像度機能、さまざまな安全機能により、半導体製造の優れたソースとなります。