中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615289 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、フォトレジスト素材を用いた深紫外線（DUV）リソグラフィを可能にするリソグラフィ装置です。有機フォトレジスト（OPR）と呼ばれる特殊なフォトレジストシステムを利用しており、紫外線リソグラフィ用途において非常に有効です。このユニットは、エンドプロダクトで最高レベルの精度を必要とする業界に存在する小型および複雑な構造物の生産に特に適しています。リソグラフィの過程で、フォトレジストのフィルムはまず紫外線光源にさらされます。光源は、DUVやDUVオーバーレイなどのフィルムタイプとアプリケーションによって定義されます。露光中にフォトレジスト分子の分子が分解され、露出した分子が除去されます。このプロセスは、フォトレジストのフィルムから材料の不要な領域を削除し、所望のパターンを作成し、パターンオンフィルムを作成します。TEL Lithiusマシンは、感光ワーク材料にパターンオンフィルムを正確に転送することができます。感光ワークは、まず高解像度レーザーにさらされ、パターンオンフィルムを目的の基板に正確かつ正確に記録します。登録されたパターンが基板に転送され、目的の構造が概説されます。TOKYO ELECTRON Lithius toolは、高精細分解能スキャン、自動補正、高性能エッチングなどのマルチステップアプリケーションにより、パターンオンフィルム動作の精度と再現性を確保するために特別に設計されています。このプロセスにより、パターンの精度と精度が基材に伝わり、高い再現性を確保します。精度、精度、再現性に優れたLithiusアセットは、開発および商用ウェーハ製造、パターン検証、修理、半導体製造のリソグラフィなど、さまざまな用途に特に適しています。このモデルは、エッチング、検査、さまざまな表面処理など、さまざまなプロセスやアプリケーションを介して使用することができ、非常に適応性があります。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius装置を使用することで、さまざまな分野で高い精度、詳細、再現性を実現し、DUVフォトレジスト材料は幅広いエレクトロニクス製造プロセスに多用途かつ信頼性の高いアプリケーションを提供します。そのコンパクトな設計、高解像度、複雑なパターンを生成する能力は、ユーザーにリソグラフィ技術に陽子ビームを与え、最高の精度で製造を必要とする人に最適です。