中古 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293610403 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Lithiusは、高度なリソグラフィ用途において優れた性能を発揮するフォトレジスト加工装置です。完全に自動化され、統合されたシステムを備えているため、ユーザーは単一のツールを簡単に設定して、異なるフォトレジスト材料を使用してさまざまなウエハ構造を処理できます。NEXTGenは、次世代光露光マシンを使用して、フォトレジストを周波数調整された周波数で照射し、パターニング精度を0。4 μ mまで向上させます。このツールは、フォトマスク、ステッパー、スキャナを簡単に統合して、パターニングデバイスと回路設計の最適な柔軟性を実現するように設計されています。TEL Lithiusの高度なウエハハンドリング機能により、負荷ポートからプロセスへのシームレスで効率的な基板転送が可能になります。この資産は、優れた歩留まり制御と費用対効果のために設計されています。SUS （Advanced Substrate Uniformity Model）を使用して欠陥感度を向上させ、フィールドの一部に依存する均一性の分散を最小限に抑えて歩留まり制御を最大化します。また、ウエハの反りが少なく、高解像度の画像処理が可能な高度なPRフィルムを複数使用しています。Lithiusの革新的な機能は、ウェーハレベルのコストを最小限に抑えます。これは、単一のリソグラフィーシステムがさまざまなプロセス手順を処理し、フィルムに抵抗できるように設計されているため、追加のメインフレームとソフトウェアへの投資が不要です。また、フォトレジストとエッチング成分の効率的な制御を組み合わせることで、運用コストを最小限に抑えます。長い歴史の中で、Lithiusフォトレジストユニットは、高度なリソグラフィープロセスのための信頼性が高く、費用対効果が高く、効率的なソリューションを一貫して提供してきました。その革新的な機能と高度なオンボードシステムは、優れた歩留まり制御と改善されたプロセスフローを確保するために、コストとパフォーマンスを効果的にバランスさせます。高度に自動化された統合されたマシンにより、複数の投資が不要になり、ワークロードが合理化され、デバイス製造のパフォーマンスが向上します。